Цахим бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн IC чипүүдийн нэгдсэн хэлхээний IC TPS74701QDRCRQ1 нэг цэгт худалдан авах

Өрөөн болон чипс хоорондын хамаарал

Өрөөний тухай тойм

Өрөөс болон чипс хоорондын хамаарлыг ойлгохын тулд вафель ба чипний мэдлэгийн гол элементүүдийн тоймыг доор харуулав.

(i) Өрлөг гэж юу вэ

Өргөст цаас нь цахиурын хагас дамжуулагч интеграл хэлхээний үйлдвэрлэлд ашиглагддаг цахиур хавтан бөгөөд дугуй хэлбэртэй тул өрөм гэж нэрлэгддэг;тэдгээрийг цахиур хавтан дээр боловсруулж, хэлхээний төрөл бүрийн эд ангиудыг үүсгэж, тодорхой цахилгаан функц бүхий нэгдсэн хэлхээний бүтээгдэхүүн болох боломжтой.Өргөст цаасны түүхий эд нь цахиур бөгөөд дэлхийн царцдасын гадаргуу дээр цахиурын давхар ислийн шавхагдашгүй нөөц бий.Цахиурын давхар ислийн хүдрийг цахилгаан нуман зууханд цэвэршүүлж, давсны хүчлээр хлоржуулан нэрж 99.99999999999% цэвэршилттэй өндөр цэвэршилттэй полисиликон гарган авдаг.

(ii) Өргөст цаасны үндсэн түүхий эд

Цахиурыг кварцын элснээс цэвэршүүлж, ялтсуудыг цахиур элементээс (99.999%) цэвэршүүлж, дараа нь цахиурын саваа болгож, нэгдсэн хэлхээний кварцын хагас дамжуулагчийн материал болдог.

(iii) Өргөст цаас үйлдвэрлэх үйл явц

Вафель нь хагас дамжуулагч чипс үйлдвэрлэх үндсэн материал юм.Хагас дамжуулагч интеграл хэлхээний хамгийн чухал түүхий эд нь цахиур бөгөөд иймээс цахиур хавтантай тохирдог.

Цахиур нь байгальд силикат буюу цахиурын давхар исэл хэлбэрээр чулуулаг, хайрганд өргөн олддог.Цахиур хавтангийн үйлдвэрлэлийг гурван үндсэн үе шаттайгаар нэгтгэж болно: цахиурыг цэвэршүүлэх, цэвэршүүлэх, дан болор цахиурын өсөлт, вафель үүсгэх.

Эхнийх нь цахиурын цэвэршүүлэлт бөгөөд элс, хайрганы түүхий эдийг 2000 ° C-ийн температурт, нүүрстөрөгчийн эх үүсвэрийн дэргэд цахилгаан нуман зууханд хийнэ.Өндөр температурт элс, хайрга дахь нүүрстөрөгч болон цахиурын давхар исэл нь химийн урвалд ордог (нүүрстөрөгч нь хүчилтөрөгчтэй нэгдэж, цахиурыг үлдээдэг) 98% орчим цэвэр цахиурыг олж авдаг бөгөөд үүнийг металлургийн зэрэглэлийн цахиур гэж нэрлэдэг. Хагас дамжуулагч материалын цахилгаан шинж чанар нь хольцын концентрацид маш мэдрэмтгий байдаг тул микроэлектрон төхөөрөмжид хангалттай цэвэр.Тиймээс металлургийн зэрэглэлийн цахиурыг цаашид цэвэршүүлдэг: буталсан металлургийн зэрэглэлийн цахиурыг хийн устөрөгчийн хлоридоор хлоржуулах урвалд оруулан шингэн силан гаргаж авах ба дараа нь нэрж, химийн аргаар бууруулж, өндөр цэвэршилттэй поликристалл цахиурыг 9999999999999999999999999999999999999999999999999999999999999999997779 %, энэ нь электрон зэрэглэлийн цахиур болдог.

Дараа нь шууд татах (CZ арга) гэж нэрлэгддэг хамгийн түгээмэл арга болох нэг талст цахиурын өсөлт ирдэг.Доорх диаграммд үзүүлснээр өндөр цэвэршилттэй полисиликоныг кварцын тигелд хийж гадна талыг нь тойруулан бал чулуу халаагчаар тасралтгүй халааж, температурыг ойролцоогоор 1400 ° C-д байлгадаг.Зууханд байгаа хий нь ихэвчлэн идэвхгүй байдаг тул полисиликоныг хүсээгүй химийн урвал үүсгэхгүйгээр хайлуулах боломжийг олгодог.Ганц талст үүсгэхийн тулд талстуудын чиглэлийг мөн хянадаг: тигелийг полисиликон хайлмалаар эргүүлж, үрийн талстыг дүрж, савааг эсрэг чиглэлд зөөвөрлөн аажмаар босоо байдлаар дээшээ татна. цахиурын хайлмал.Хайлсан полисиликон нь үрийн болорын ёроолд наалдаж, үрийн болорын торны зохицуулалтын чиглэлд дээшээ ургадаг.